Ученые ТГУ создали высокочистые соединения для микроэлектроники

Ученые ТГУ создали методы синтеза двух важнейших химических соединений для применения в микроэлектронике. Эти методы включают производство особо чистого бромистого водорода и тетракис (диметиламино)  титана. Производство этих двух соединений началось на базе инженерного центра ТГУ, который планирует закрыть потребность российских производителей микроэлектроники. Об этом сообщает пресс-служба ТГУ.

Бромистый водород используется для очистки кремниевых пластов, являющихся важной частью интегральных микросхем. 

«Ранее бромистый водород поставлялся в Россию зарубежными компаниями, но после введения санкций поставки были прекращены. За 2023-2024 год химики ТГУ разработали отечественную технологию выпуска и очистки с использованием только российских реагентов, что обеспечивает технологическую независимость производства»,

– рассказывает руководитель проекта, директор Инжинирингового центра высокочистых веществ и материалов микроэлектроники ТГУ, профессор ХФ ТГУ Виктор Сачков.

Разработанный метод синтеза бромистого водорода успешно ввели в 2024 году на площадку малотоннажной химии Инжинирингового химико-технологического центра (ИХТЦ) ТГУ. Первые партии продукта прошли успешные испытания на предприятиях, производящих компоненты для микроэлектронных устройств и систем.

Еще одним важным продуктом, созданным учеными ТГУ, является соединение тетракис (диметиламино) титан, известное как TDMAT. Оно активно используется в электронике для создания сложных электронных структур, таких как полупроводники, и находит применение в других отраслях, включая оптику, покрытия и композитные материалы.

Начальные партии TDMAT уже переданы российским компаниям, заинтересованным в использовании этого соединения. Учитывая высокий интерес со стороны государства к развитию микроэлектроники, спрос на этот продукт оказался выше ожидаемого.

«В современном мире микроэлектроника – это не просто отрасль промышленности, а фундамент, без которого невозможен технологический прогресс. К примеру, отечественные микропроцессоры, память, контроллеры – это основа для создания конкурентоспособных компьютеров, серверов, смартфонов, робототехники, медоборудования и других сложных устройств. Внедрение технологий выпуска бромистого водорода и TDMAT электронного качества будет напрямую способствовать появлению качественной российской электроники и ее импортонезависимости»,

– отметил Виктор Сачков.

Ранее мы рассказывали о том, что молодой ученый Института прикладной математики и компьютерных наук Томского госуниверситета Неда Фироз разрабатывает новый подход к диагностике депрессии с использованием искусственного интеллекта.